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【学风建设宣传月】成电芯论坛-成都高真科技有限公司David Park教授交流工艺制造

  • 电子学院
  • 电子科学与工程学院(示范性微电子学院)
  • 2021-05-27 16:31:03
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2021年5月26日下午,成都高真科技有限公司人才开发中心David Park教授受邀主讲示范性微电子学院举办的第十五期“成电芯论坛”。在本次讲座中,David Park教授续接上期芯论坛中介绍的半导体八大工艺,与各位同学分享了对于CMOS Transistor制造工艺的理解并带领大家走近了CMOS Transistor的全套制造流程。

David Park教授率先从半导体制造工艺的基础入题,通过简述半导体断面与平面构造和讲解CMOS Transistor的平面图,令大家首先对于CMOS Transistor具有了一个初步的认识。随后David Park教授回顾了第14期“成电芯论坛”中与同学们探讨的半导体制造八大工艺,并且以这八大工艺的使用方式为基本框架,详细讲述了它们在CMOS Transistor制造中的具体应用,譬如:STI工艺从NiTride Deposition到Nitride Removal的流程实现了更有效的器件隔离需要,这一点对于DRAM器件显得尤为明显。在讲座进行过程中,David Park教授多次与同学们进行互动以便掌握同学们的理解情况,并且对于同学们的发言进行了耐心的讲解与答复。

David Park教授最后总结道:“CMOS Transistor的制造是半导体器件中较为基本的工艺流程,加深对于CMOS Transistor制造工艺的领悟有助于日后理解和掌握具有更为复杂构造的制作工艺。”