2022年5月6日中午13:00，“科研零距离”第十一期活动成功在先进半导体与集成微系统研究中心开展。本期科研零距离活动邀请了电子科学与技术学院的钟志亲副教授带大家探秘先进半导体与集成微系统研究中心。

钟老师首先介绍了研究中心的情况，中心针对集成电路与微系统、超高速无线传输、智慧城市等新一代应用及其潜在工程科学难题，开展射频/微波/毫米波/太赫兹等集成电路与系统、ESD保护器件、化合物半导体 /MEMS器件的创新研究与应用。研究基础雄厚、学术气氛活跃、国际交流广泛。近五年，中心主持了近30项纵向/横向科研项目，含国家自然科学基金重点项目等国家级科研项目、工业界重点合作项目等。基于这些高水平科研项目，为国家集成电路产业培养高精尖领军人才。

更换实验室防护服后，钟老师带大家参观了多个实验室。第一个是清洗间，同学们学习了石英管清洗设备的操作方法，观摩了扩散间的高温氧化/扩散炉、测试间的台阶仪以及cv测试仪。第二个是刻蚀间，钟老师展示了一片由学生加工好的晶圆，并向大家科普了实验室内的PECVD装置、深槽反应离子蚀刻机、反应离子蚀刻机、冷水机组以及反应离子刻蚀台等装置在晶圆生产与制造中发挥的作用。最后进入的是清洁度最高的光刻间，老师热情地回答了在学业方面对此有所涉及的高年级学生所提出的，关于如何将所学知识应用于实际的问题，并向前来参观的所有学生介绍了中国在相关领域遇到的困难与挑战，例如，国产光刻机在生产、管理过程中自动化程度较低，且难以实现精细化操作等，这为身为电气工程相关专业的同学点明了未来的钻研方向与奋斗目标。

活动简介：

为激发学生科研兴趣，培养学生创新实践能力，格拉斯哥学院学生事务中心（实践教学）和创格科协联合开展“科研零距离”系列活动，为同学们近距离了解导师及科研团队搭建桥梁。每一期活动将邀请不同研究方向的教授带同学们了解科研项目，引导同学们了解并明确自己的兴趣方向，打开走向科研科创的大门。科研零距离活动每两周一次（单周），活动详情及报名方式可点击以下链接查看。https://docs.qq.com/sheet/DV2JNWHVwanRKTlpV?tab=ry2csy&_t=1646204251988